OHT (Overhead Hoist Transport)

✏️ 서론

반도체는 웨이퍼라는 얇은 실리콘 판을 다양한 공정을 통해 가공하여 제조된다. 이 공정에서 웨이퍼의 이동을 위해 사용되는 장비가 OHT로, 공장 천장에 설치된 레일을 따라 자동으로 움직이며 웨이퍼를 안전하고 효율적으로 운송하는 시스템이다.

 

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OHT의 장점

• 공간 효율성 : 천장을 활용하여 지상 공간이 확보된다.
• 클린룸 적합성 : 사람의 직접 개입을 최소화하여 오염 위험을 줄인다.
• 속도/정확성 : 공정 간의 작업 속도를 높인다.
• 유지보수 용이성 : 모듈형 설계로 고장 시 빠른 수리가 가능하다.

 

OHT의 구조와 작동 원리

• 레일 : 천장에 설치된 트랙으로, OHT가 공장을 이동할 수 있는 경로를 제공한다.
• 카트. : 웨이퍼를 실은 포드를 운반하는 장치로, 모터와 센서를 통해 정확한 위치로 이동한다.
• 컨트롤 시스템 : OHT의 동작을 제어하며, 공정에 필요한 웨이퍼를 올바른 시간과 장소로 운반하도록 지시한다.

→ OHT는 레일을 따라 수평/수직으로 이동하며, 웨이퍼가 담긴 FOUP(Front Opening Unified Pod)라는 전용 용기를 정해진 위치로 운반한다.

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✏️ 결론

OHT는 웨이퍼의 품질을 유지하고, 생산성을 극대화하기에 필수적인 장비이다. 

탄소 중립과 같은 환경적 요구가 높아지면서, OHT는 에너지 효율성을 극대화하고 친환경적인 설계가 적용된 장비로 진화할 가능성이 크다.